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青島晨立電子有限公司
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先生 (銷售經(jīng)理) |
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手 機(jī)：13954285618  |
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| 青島擴(kuò)散爐生產(chǎn)廠家 高溫氧化爐 |
臥式擴(kuò)散爐--擴(kuò)散爐
擴(kuò)散爐--高溫?cái)U(kuò)散爐，臥式擴(kuò)散爐，晨立簡(jiǎn)單介紹：
擴(kuò)散爐--高溫?cái)U(kuò)散爐，臥式擴(kuò)散爐，晨立
設(shè)備用途：用于大規(guī)模集成電路、電力電子、光 電器件、光導(dǎo)纖維等行業(yè)的氧化、擴(kuò)散、燒結(jié)、合金等工藝。
設(shè)備特點(diǎn)：?jiǎn)卧M合方式。根據(jù)工藝的不同，可以在主機(jī)的基礎(chǔ)上配氣源柜、超凈工作臺(tái)、懸臂推拉舟等。
主要技術(shù)指標(biāo)：
★ 爐管數(shù)：1～4管
★ 配工藝管口徑：Φ90～360 mm (3～12英寸)
★ 恒溫區(qū)長(zhǎng)度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃) 760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)
★ 單點(diǎn)穩(wěn)定性： ±1.0℃/24h (300～800℃) ±0.5℃/24h (800～1280℃)
★ 氣源路數(shù)： ≤7路，可配恒溫源瓶、氫氧合成點(diǎn)火器
★ 氣體控制： 浮子/質(zhì)量流量計(jì)
★ 懸臂舟參數(shù)： 速度： 20～1000 mm/min *大行程：2000 mm 定位精度：±1 mm *大載荷：17 Kg
★ 超凈工作臺(tái)： 凈化等級(jí)：100級(jí)（萬(wàn)級(jí)廠房）
噪音： ≤62dB（A）
振動(dòng)： ≤3μm
晨立*新擴(kuò)散爐設(shè)備新鮮出爐,技術(shù)和質(zhì)量已達(dá)國(guó)際水平,受到半導(dǎo)體設(shè)備制造企業(yè)和半導(dǎo)體行業(yè)高度關(guān)注.可完全替代國(guó)外同規(guī)格高端產(chǎn)品滿足不同工藝的要求 |
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