規(guī)格
參數(shù) KLD-4030
工作臺(tái) X/Y軸行程 400MM*300MM
Z軸行程 有效空間245mm,調(diào)焦行程200mm，工作距離95mm
大理石臺(tái)面尺寸 550MM*450MM
玻璃臺(tái)面尺寸 350MM*250MM
傳動(dòng)型式 傳動(dòng)型：X/Y/Z軸臺(tái)灣進(jìn)口精密線性導(dǎo)軌和臺(tái)灣進(jìn)口滾珠螺桿
測量伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) 光學(xué)尺分辨率：X/Y/Z軸0.0002MM（0.2UM）
測量精度：≤2.5UM+L/250 重復(fù)精度：≤2.5UM+L/250
X/Y/Z三軸合川高性能閉環(huán)伺服電機(jī)，雙重閉環(huán)控制系統(tǒng)
影像系統(tǒng) 攝像機(jī)一：高分辨率彩色1/3CCD攝像機(jī)放大倍率30-230X
攝像機(jī)二：�？低�200W像素高清相機(jī)
連續(xù)變倍鏡頭：普密斯高清變倍鏡頭//連續(xù)放大倍率0.7-4.5X
光源系統(tǒng) 表面光源與透射光源LED冷光源、壽命長、亮度可調(diào)
儀器外形尺寸（L*W*H） 700MM*850MM*1550M |
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光學(xué)儀器
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