ABRT超精密轉(zhuǎn)臺(tái)
1專為硅片檢測(cè),X射線衍射系統(tǒng),光學(xué)檢測(cè)及制造和納米技術(shù)設(shè)備制造應(yīng)用設(shè)計(jì)
2無(wú)刷無(wú)槽伺服電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)
3突出的速度穩(wěn)定性,波動(dòng)率低于萬(wàn)分之一(電機(jī)無(wú)接頭效應(yīng))
4卓越的運(yùn)動(dòng)性能,誤差小,無(wú)抖動(dòng)
5直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器
6扁平結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
7無(wú)機(jī)械接觸
臺(tái)面直徑100-200mm
分辨率0.027-0.055arcsec
雙向重復(fù)定位精度<1arcsec
定位精度<2 arc sec
異步軸跳<20nm
更多產(chǎn)品資料請(qǐng)聯(lián)系我們:卜振磊 18612885992
異步徑跳<20nm
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