產品描述
顯微鏡中的物鏡對準通常需要一個開放的中心空間（例如，用于光線通過），PK1L60-080U壓電掃描臺（帶有25mm的中心孔）是針對此類應用而開發(fā)的，每個軸都經(jīng)過機械預加載。獨特的產品設計非常緊湊，在X運動軸上的運動可達80μm（閉環(huán)），并且由于柔性機械設計而實現(xiàn)了無間隙的平行運動。
可以選擇使用集成的SGS測量系統(tǒng)來克服遲滯的影響，并且PK1L60-080U定位系統(tǒng)可以配備電容測量系統(tǒng)，PK1L60-080U壓電掃描臺可以輕松地與其他機械定位系統(tǒng)結合使用。
PK1L60-080U系列非常適合從光學研究到OEM系統(tǒng)的各種應用。
本系列產品種類包括X、Z、XZ、XY、XYZ軸運動系統(tǒng)版本。請參照相關型號介紹。
產品特性
—X位移：80μm（閉環(huán)）
—中孔尺寸：Φ25mm
—高度緊湊的設計帶來卓越的性能
—柔性鉸鏈確保高可靠性
—納米和亞納米范圍內的高分辨率
選配功能
—可定制轉接裝置及中心孔徑大小
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系
—可選擇Z、XZ、XY、XYZ軸版本
應用領域
—光纖定位
—鏡頭聚焦
—掩模、晶圓定位
—干涉法測量技術
—納米操縱 |
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