電流和扭矩，同樣，在電機(jī)停止時(shí)立即移除，雖然這是*簡單的啟動(dòng)方法，但高浪涌電流(通常是電機(jī)額定電流的6至7倍)和峰值啟動(dòng)轉(zhuǎn)矩會(huì)損壞電機(jī)，驅(qū)動(dòng)設(shè)備和產(chǎn)品，跨線啟動(dòng)也會(huì)導(dǎo)致高峰電力需求，這可能會(huì)引發(fā)公用事業(yè)公司的高峰需求費(fèi)用。
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伺服驅(qū)動(dòng)器報(bào)警維修方法
1、檢查電源電壓，確保其在正常范圍內(nèi)；檢查電源線路和驅(qū)動(dòng)器內(nèi)部電路，排除故障。
2、檢查電源線路，確保電源容量滿足要求；檢查驅(qū)動(dòng)器內(nèi)部電路，排除故障。
3、檢查機(jī)械系統(tǒng)，減少阻力；調(diào)整加減速時(shí)間；檢查并調(diào)整驅(qū)動(dòng)器參數(shù)。
4、檢查機(jī)械系統(tǒng)，排除卡死現(xiàn)象；檢查電機(jī)軸承，如有必要進(jìn)行更換；檢查驅(qū)動(dòng)器控制功能，排除故障。
5、檢查驅(qū)動(dòng)器內(nèi)部電路，更換損壞的元件；改善驅(qū)動(dòng)器散熱條件，降低溫度；排除電路短路現(xiàn)象。
6、檢查通信線路，確保連接正確；檢查通信參數(shù)設(shè)置，確保與其他設(shè)備兼容；檢查通信協(xié)議，確保匹配。
7、檢查編碼器連接線路，確保連接正確；檢查編碼器是否損壞，如有必要進(jìn)行更換；檢查驅(qū)動(dòng)器與編碼器之間的匹配設(shè)置，確保正確。
系統(tǒng)會(huì)依次測試圖案化晶圓的各個(gè)部分--進(jìn)行測量，然后推進(jìn)并對(duì)齊晶圓，以將個(gè)區(qū)域放置在測量尖端下方，快速移動(dòng)和穩(wěn)定的挑戰(zhàn)在于慣性會(huì)導(dǎo)致負(fù)載移動(dòng)指令的過沖和振蕩(考慮到高加速度和小增量)，這可能會(huì)引入測量錯(cuò)誤或減慢測量過程。
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