一、儀器用途
TBM-600 半導體檢測儀是檢測雙極型晶體管的基區(qū)寬度，半導體晶片的直徑、平整度、光潔度、表面污染、傷痕等，刻蝕圖形的線條長、寬、直徑間距、套刻精度、分辨率以及陡直、平滑必不可少的儀器。配備大視野目鏡與偏光觀察裝置，透反射照明采用“柯勒”照明系統(tǒng)，視場清晰�？捎糜诎雽w硅晶片、LCD基板、電路板、固體粉未及其它各種透明或不透明工業(yè)試樣的檢驗，是生物學、金屬學、礦物學、精密工程學、電子工程學等研究的理想儀器,廣泛應用在工廠、實驗室和教學及科研等領域。
二、產品特點
采用無限遠光學系統(tǒng)及模塊化功能設計。長工作距離明，視場大而清晰。廣角平場目鏡：視場直徑Ф22mm。粗微動同軸調焦機構，粗動松緊可調，帶限位鎖緊裝置，微動格值:2μm。內置式可切換偏光觀察裝置，起偏器可360°旋轉。上光源采用翻蓋式12V50W鹵素燈箱，更換燈炮安全便捷，下光源采用12V/30W鹵素燈，加裝散熱片。三目鏡筒可自由切換目視觀察與顯微攝影，攝影時可100%通光。
三、技術參數
1.目鏡
類型 放大倍數 視場(mm)
平場目鏡 10X φ18
2.物鏡
類別 放大倍數 孔徑數值 工作距離(mm)
無限遠長距平場消色差物鏡 5X 0.12 9.7
10X 0.25 9.3
20X 0.40 7.2
40X 0.60 3.0
3.光學放大倍數：50X 100X 200X 400X
4.三目鏡,傾斜30?,(內置檢偏振片,可進行切換)
5.雙層機械移動式(尺寸:210mmX140mm,移動范圍:75mmX50mm)
6.粗微動同軸調焦, 微動格值:2μm,帶鎖緊和限位裝置
7.照明系統(tǒng)：落射 6V 20W 鹵素燈,亮度可調,帶視場光欄、孔徑光欄、起偏振片
透射 6V 20W 鹵素燈,亮度可調,內置視場光欄, 藍濾色片和磨砂玻璃
8.阿貝聚光鏡NA.1.25可上下升降
9.濾色片：(黃,藍,綠,磨砂)
四、系統(tǒng)組成
(TBM-600):1.顯微鏡 2.適配鏡 3.攝像器(CCD) 4.A/D(圖像采集)
五、總放大參考倍數
TBM-600型：50—3500倍
六、選購件
1.目鏡: 10X分劃 2.物鏡:50X 60X 80X 3.二維測量軟件
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