開爾文探針表面光電壓譜
開爾文探針(Kelvin Probe)是一種非接觸無損震蕩電容裝置，用于測量導(dǎo)體材料的功函數(shù)(Work Function)或半導(dǎo)體、絕緣表面的表面勢(Surface Potential)。
材料表面的功函數(shù)通常由*上層的1-3層原子或分子決定，所以開爾文探針是一種*靈敏的表面分析技術(shù)。
我們的開爾文探針系統(tǒng)包括：
□單點(diǎn)開爾文探針(大氣環(huán)境及氣氛控制環(huán)境)；
□掃描開爾文探針(大氣環(huán)境及氣氛控制環(huán)境)；
□超高真空(UHV)開爾文探針；
□濕度控制的腐蝕開爾文探針；
掃描開爾文探針系統(tǒng) (ASKP)
ASKP系統(tǒng)是一款可以被大多數(shù)客戶所接收的高端掃描開爾文探針系統(tǒng)，它是在SKP基礎(chǔ)之上包括了彩色相機(jī)/TFT顯示器、2毫米和50微米探針、外部數(shù)字示波鏡等配置，其規(guī)格如下：
□2毫米，50微米探針；
□功函數(shù)分辨率 1-3 meV(2毫米針尖)，5-10 meV(50微米針尖)；
□針尖到樣品表面高度可以達(dá)到400納米以內(nèi)；
□表面勢和樣品形貌3維地圖；
□探針掃描或樣品掃描選配；
□彩色相機(jī)、調(diào)焦鏡頭、TFT顯示器和專業(yè)的光學(xué)固定裝置；
□參考樣品(帶相應(yīng)的掃描開爾文探針系統(tǒng)的形貌)；
□備用的針尖放大器；
儀器的特色
□全球*一臺商用的完全意義上的開爾文探針系統(tǒng)；
□*高分辨率的功函數(shù)和表面勢，*好的穩(wěn)定性和數(shù)據(jù)重現(xiàn)性；
□非零專利技術(shù)(Off-null,ON) ——ON信號探測系統(tǒng)在高信號水平下工作，與基于零信號原(null-based,LIA)的系統(tǒng)相比，不會收到噪聲的影響擁有高靈敏度；
□高度調(diào)節(jié)專利技術(shù) ——我們的儀器在測量和掃描時(shí)可以控制針尖的高度。因?yàn)楣瘮?shù)受 樣品形貌的影響，針尖與樣品表面距離的調(diào)節(jié)意味著數(shù)據(jù)的高重現(xiàn)性且不會漂移；
□該領(lǐng)域內(nèi)，擁有*好的信噪比；
□快速響應(yīng)時(shí)間 ——測量速度在0.1-10秒間，遠(yuǎn)快于其他公司產(chǎn)品；
□功能強(qiáng)的驅(qū)動器 ——選用Voice-coil(VC)驅(qū)動器，與通常的壓電驅(qū)動器相比，VC驅(qū)動器頻率要穩(wěn)定得多、控制的針尖振幅大得多、支持平行多探針操作、支持不同直徑探針操作；
□所有開爾文探針參數(shù)的全數(shù)字控制；
ON 非零探測 Off Null detection
HR 高度調(diào)節(jié)模式 Height Regulation mode
SM 實(shí)際開爾文探針信號監(jiān)控 Monitoring of the actual Kelvin probe signal
UC 用戶通道，同時(shí)測量外部參數(shù) User Channels, simultaneous measurement of external parameters
DC 電流探測系統(tǒng)去除漂移效應(yīng) Current Detection system rejects stray capacity effects
PP 平行板震動模式 Ideal, Parallel Plate Oscillation Mode
SA 信號平均 Signal Averaging (often termed Box-Car Detection)
WA 功函數(shù)平均 Work Function Averaging, Difference and Absolute reporting
DC 所有探針及探測參數(shù)的數(shù)字控制Digital Control of all Probe and Detection Parameters
QT 針尖快速改變 Quick-change Tip, variable spatial resolution
DE 數(shù)據(jù)輸出 Data Export to Excel, Origin, or 3rd party software
OC 輸出通道 Output Channel: TTL switching of external circuit
FC 法拉第籠(電磁干擾防護(hù)罩) Faraday Cage (EMI Shield)
RS 金-鋁參考樣品 Gold-Aluminium Reference Sample
額外選配項(xiàng)
SPV 表面光伏電壓軟硬件包 Surface Photovoltage Software and Hardware Package |
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