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江蘇明微電子有限公司
| 聯(lián)系人:蔣先生
先生 (經(jīng)理) |
| 電 話:051583688556 |
| 手 機:15371178646 |
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| UV機 |
U V 機 特 點
適用于半導體晶圓減薄后和晶圓切割后UV膜解膠工序。
規(guī)格:6inch/8inch/12inch(型號HW-UV106/108/112)
■ 此外我們也能根據(jù)客戶需求,提供非標產(chǎn)品.
該UV照射機時用來將切割制程中使用的UV膜的粘性減弱直至消除;
LED冷光源與汞燈組成的光源相比,更能實現(xiàn)穩(wěn)定性、均勻性的照射;
UV照射機采用的LED冷光源是180度平射產(chǎn)品;
UV照射機采用采用掃描式平射產(chǎn)品,使UV膜的粘性減弱直至消除;
生產(chǎn)產(chǎn)能:60片晶圓/小時(原則上);
小巧的桌上型系統(tǒng)設(shè)計;
采用液晶觸摸屏一鍵式操作;
開啟門時LED冷光源是關(guān)閉狀態(tài),可以保護人體安全;
LED冷光源壽命是一般汞燈壽命的十倍;
LED冷光源至少可以連續(xù)工作5000H(頻繁啟動對冷光源無副作用) |
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