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蘇州萬博空氣凈化設備有限公司
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先生 (經(jīng)理) |
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手 機:18550182930  |
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| 蘇州食品廠凈化車間 電子廠無塵車間定制 |
控制產(chǎn)品所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設計施工過程就叫做蘇州凈化工程。經(jīng)過蘇州凈化工程裝修的房間就叫做凈化車間或者潔凈車間。潔凈車間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。
例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。所以,蘇州凈化工程對類似這種空間是非常有必要的。
蘇州凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理,均應采用初效、中效、高效過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理,可采用亞高效過濾器代高效空氣過濾器?諝膺^濾器的選用布置和安裝方式,應符合:初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器;中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段;高效空氣過濾器或亞高效過濾器宜設置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端,高效空氣過濾的安裝方式應簡便可靠,宜檢漏和更換;中效、亞、高效過濾器宜按額定風量選用;阻力、效率相近的高效空氣過濾器宜設置在同一凈化車間內(nèi)。 |
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