電子晶圓超純水_方案價(jià)格哪個(gè)好 超純水設(shè)備是采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理等方法,將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水處理設(shè)備。
晶圓用超純水設(shè)備樹脂再生工藝
樹脂在使用一段時(shí)間后,吸附的雜質(zhì)接近飽和狀態(tài),就要進(jìn)行再生處理,使之恢復(fù)原來的組成和性能。目前國內(nèi)樹脂的再生常用化學(xué)藥劑酸堿法使失效的樹脂恢復(fù)交換能力,酸的使用通常采用HCl或H2SO4,調(diào)配濃度為3-5%左右,堿的使用一般采用NaOH,調(diào)配濃度為3-5%左右。
一、反洗分層:
反洗流速10米/時(shí),反洗時(shí)間15分鐘,以沉降后陽,陰樹脂層界面是否清晰判別分層效果。
二、進(jìn)再生液:
用20分鐘左右的時(shí)間泵完所需的再生液,浸泡2-3個(gè)小時(shí)后采用正洗的方法,陰樹脂沖洗至出水堿度PH=8-9左右,陽樹脂沖洗至出水酸度PH=5-6左右。
三、混合:
從底部進(jìn)入氮?dú)?也可用壓縮空氣,真空抽氣等)進(jìn)行混合,進(jìn)氣壓0.1~0.15MPa,進(jìn)氣量2.5~3.0米3/(米2•分),混合時(shí)間一般為5~10分鐘,以柱內(nèi)樹脂充分混合為終點(diǎn)。
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