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FS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器

詳細(xì)說(shuō)明

FS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：FS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專(zhuān)門(mén)為各類(lèi)小流量氣體的測(cè)量和過(guò)程控制而設(shè)計(jì)的。這系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來(lái)制作，適用于各類(lèi)清潔氣體。獨(dú)特的封裝技術(shù)使之可用于各類(lèi)管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

- 傳感器靈敏度高,有極小的始動(dòng)流量

- 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償,保證了傳

- 感器的高精度計(jì)量

- 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高

- 傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定度高

- 全量程高穩(wěn)定性

- 全量程高精度和優(yōu)良的重復(fù)性

- 低功耗

- 低壓損

- 響應(yīng)時(shí)間快

主要參數(shù)：

性能參數(shù)

FS4001

單位

通徑

1.0

1.8

mm

大流量

30, 100, 200

500, 1000

SCCM

量程比

≥100:1

精度

±(1.5+0.2FS)

%

重復(fù)性

0.25

%讀數(shù)

零點(diǎn)輸出飄移

±30

mV

輸出飄移

±0.12

%/oC

響應(yīng)時(shí)間

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

mses

工作電源

8~18Vdc,50mA

輸出方式

線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc

大流量壓損

350

300

pa

大工作壓力

0.5

MPa

工作溫度

-10 ~ +55

oC

存儲(chǔ)溫度

-20 ~ +65

oC

工作濕度

<95%RH（無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝露）

機(jī)械接口

可拆式軟管接頭

校準(zhǔn)方式

空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa

重量

15