5822i離子風(fēng)機(jī)的精巧設(shè)計(jì)是配合高端自動(dòng)化制程設(shè)備內(nèi)緊密的空間條件,和嚴(yán)格的靜電防控要求,尤其適用于硬盤制造和半導(dǎo)體后段封測(cè)工業(yè)。它能維持<±3 V 的離子平衡,又可接連外置回饋系統(tǒng)以達(dá)至<±1 V 的 效能。內(nèi)置的離子平衡自動(dòng)修正系統(tǒng),能確保目標(biāo)對(duì)象在控制中,減少維修次數(shù)和降低操作成本。配置的氣流定向器,無須更多的空間,也能把平衡的離子直接吹到目標(biāo)。
特點(diǎn)
±3 V 或更好的離子平衡 (配合選配的外接回饋系統(tǒng)能達(dá)至±1 V)
設(shè)備監(jiān)控接口和聲響報(bào)警
外置控制盒
符合潔凈度 ISO 14644-1 Class 4
優(yōu)點(diǎn)
直送吹風(fēng)設(shè)計(jì)能改善離子吹送和靜電控制
對(duì)產(chǎn)品錯(cuò)誤能作出快速反應(yīng)
允許更彈性的安裝位置,又能維持效能
適合在高要求的微污染控制環(huán)境使用 |