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深圳銘凱盛電子設(shè)備有限公司
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| 等離子主機 等離子表面活化 晶圓等離子清洗 PLASMI清洗 |
1、等離子清洗的原理：對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清洗機就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，達到對材料表面清洗、蝕刻、活化等效果。
（1）對材料表面的刻蝕作用--物理作用：
等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不但清除 了表面原有的污染物和雜質(zhì)，而且會產(chǎn)生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細坑洼，增大了 樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。
（2）激活鍵能--交聯(lián)作用：
等離子體中的粒子能量在 0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在 0~10eV，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學鍵產(chǎn)生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu)，大大地激活了表面活性。
（3）形成新的官能團--化學作用：
如果放電氣體中引入反應(yīng)性氣體，那么在活化的材料表面會發(fā)生復雜的化學反應(yīng)，引入新的官能團，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團都是活性基團，能明顯提高材料表面活性。
2、等離子設(shè)備原理：等離子清洗機的結(jié)構(gòu)主要分為四大部分組成：控制系統(tǒng)、激勵電源系統(tǒng)、xyz三軸動力系統(tǒng)、工藝氣體系統(tǒng)。 |
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