精巧型真空腔體測(cè)試腔主要用于氣體敏感材料或其他對(duì)環(huán)境敏感性材料中的電信號(hào)測(cè)試。測(cè)試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺(tái)，臺(tái)面為φ30，臺(tái)面*高可升溫到*高400℃。臺(tái)面四周裝有微型3軸可移動(dòng)鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測(cè)試。該腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口其真空度用機(jī)械泵可達(dá)＜5Pa分子泵可達(dá)＜-3Pa。真空信號(hào)連接處使用軍工級(jí)別真空電極信號(hào)接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時(shí)將需將待檢測(cè)的器件方在加熱臺(tái)面，探針頂尖處由3軸可移動(dòng)探針手動(dòng)調(diào)節(jié)移動(dòng)至被測(cè)試器件的引腳處，外部信號(hào)線連接測(cè)試儀器來測(cè)試電學(xué)信號(hào)。三：主要技術(shù)要求
1． 加熱溫度：高溫型：高溫～350℃ 低溫型 -60℃～60℃
2． 溫控誤差：±1℃
3． 熱電偶類型：PT100高精度傳感器
4． 溫控表：宇電PID溫控器
5． 程序控溫：1段（可選30段程序控溫表）
6． 加熱功率：≤300W
7． 加熱電源：AC220v
8． 尺寸：230x230x125MM
9． 重量：6kg
10． 腔體材質(zhì)：304不銹鋼
11． 加工方式：一體式CNC精加工
12． 內(nèi)腔體尺寸：137X57X21mm 容積165ML
13． 加熱臺(tái)尺寸：Φ35mm
14． 觀察窗內(nèi)徑：Φ45mm
15． 觀察窗材質(zhì)：高透光石英玻璃
16． 信號(hào)輸出頭：SMA母頭 配線 SMA轉(zhuǎn)BNC 1.5米
17． 電學(xué)性能：絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V 漏電流 ≤-10次方安培
18． 抽氣口：KF16
19． 進(jìn)氣口：6MM卡套
20． 使用正壓：≤O.05MPa
21． 使用負(fù)壓：機(jī)械泵可獲得真空≤10Pa 分子泵可獲得真空≤10 -3 Pa
22． 可擴(kuò)展配件：氣體液體注射口、4芯電信號(hào)接頭、8芯電信號(hào)接頭、SMA905 光纖接口、擴(kuò)展5KV高壓電極、升級(jí)30段控溫儀表
23． 探針規(guī)格：探針粗Φ0.5mm 探針尖 10μm
24． 上下移動(dòng)距離：2.5mm
25． 前后移 |
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