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半導體膠帶,晶圓切割膠帶
詳細說明
在將一整片晶圓切割成單個芯片的過程中,需要使用晶圓切割膠帶.將膠帶貼在晶圓背面,固定在機臺上,進行切割。晶圓切割膠帶涂布有特殊粘膠,在切割時能以超強的粘著力粘住晶片,使晶片在切割過程中不發(fā)生位移,脫落、飛散等問題,從而能良好地完成切割過程。加工結束后,經(jīng)過適量的UV(紫外線)照射即可瞬間降低粘著力,提高撿晶時的撿拾性,并且沒有粘合劑所造成的污染,保證了晶圓切割流程的成品良率。
晶圓切割膠帶品牌包括日東電工(Nitto)、三井化學、琳得科(LINTEC)、日本電氣化學(Denka)、古河電工(Furukawa)等,均為在半導體行業(yè)應用多年的國際知名品牌,適用于各類半導體晶圓制造領域。
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