在對(duì)低溫等離子凈化設(shè)備進(jìn)行維護(hù)的過(guò)程中所需要花費(fèi)的資金也是比較少的，而且設(shè)備只要是正常的使用是不容易出現(xiàn)損壞的。
低溫等離子凈化設(shè)備氣體的流速和濃度對(duì)于氣態(tài)污染物治理技術(shù)應(yīng)用來(lái)說(shuō)是兩個(gè)非常重要的因素。生物過(guò)濾和燃燒技術(shù)能應(yīng)用于較高濃度范圍，但卻受氣體的流速所限；電子束照射技術(shù)僅有一非常窄的氣體流速范圍。而低溫等離子體技術(shù)對(duì)氣體的流速和濃度都有一個(gè)很寬的應(yīng)用范圍，其應(yīng)用廣泛不言而喻。
低溫等離子凈化設(shè)備工藝簡(jiǎn)單，吸附法要考慮吸附劑的定期更換，脫附時(shí)還有可能造成二次污染；燃燒法需要很高的操作溫度；聯(lián)合催化法中，催化劑存在選擇性，某些條件(如溫度過(guò)高)會(huì)造成催化劑失活，光催化法只能利用紫外光等；生物法要嚴(yán)格控制pH值、溫度和濕度等條件，以適合微生物的生長(zhǎng)。
低溫等離子凈化設(shè)備則較好的克服了以上技術(shù)的不足，反應(yīng)條件為常溫常壓，反應(yīng)器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，并可同時(shí)消除混合污染物，不會(huì)產(chǎn)生二次污染等。就經(jīng)濟(jì)可行性來(lái)說(shuō)，低溫等離子凈化設(shè)備本身系統(tǒng)構(gòu)成就單一緊湊，在運(yùn)行費(fèi)用方面，微觀來(lái)講，因放電過(guò)程只提高電子溫度而離子溫度基本保持不變，這樣反應(yīng)體系就得以保持低溫，所以不僅能量利用率高，而且使設(shè)備維護(hù)費(fèi)用也很低。
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