New Waves精密可靠的先進(jìn)激光傳輸系統(tǒng)(ABDS)可以選擇不同波段應(yīng)對不同材料裁剪和切割工作�？諝饫鋮s結(jié)構(gòu)使系統(tǒng)更小巧和無需維護(hù)。
U.S. Patent #. 5,611,946, 5,811,751, 5,963,364, 5,703,713 Japan Patent #. 3026362
NewWave EzLaze 3 多波段激光切割系統(tǒng)能夠加載在絕大多數(shù)應(yīng)用于失效分析的顯微鏡上，EzLaze3 可以實(shí)現(xiàn)圍觀層面的精確切割和選擇性材質(zhì)去除。
特點(diǎn)
• 可以選擇不同波長來應(yīng)對更大范圍的材質(zhì)切割
• 切割的一致性良好，可重復(fù)切割大小從50μm x 50μm(紅外和可見光波段下使用50x物鏡) 到2μm x 2μm (使用100x 物鏡)的區(qū)域并保持良好的一致性
• 連續(xù)快速材質(zhì)切割（每休息20秒可以以5Hz頻率工作10秒）
• 可以通過遠(yuǎn)端控制面板直觀的操作，面板上有LCD菜單顯示
• 在電腦上裝New Wave Research LaserExec軟件后可以通過電腦控制
• 面板上HI/LO能量等級控制旋鈕可以實(shí)現(xiàn)切割能量的大范圍精確控制同時保持*佳的光束性能
• 安裝方便，無需費(fèi)力維護(hù)，無有毒氣體。
操作
EzLaze操作方便，所有的動作包括輸出能量等級，光斑尺寸，波段選擇均通過遠(yuǎn)端操作面板完成，這減少了碰傷顯微鏡的機(jī)會，同時可以通過電腦來操作。 EzLaze傳承了New Wave一貫的設(shè)計理念,單波段的系統(tǒng)可以簡單的升級到多波段。
多波段激光的優(yōu)勢
多波段激光可以讓IC設(shè)計工程師，失效分析工程師以及修復(fù)LCD的人員快速的切換波段來*好匹配他們的應(yīng)用。比如，紫外光可以直接去除polyimide 而不會對底層材質(zhì)造成損傷。紅外光可以半穿透硅和砷化鎵所以可以用它來切斷金屬線路而*小的減少對襯底的損傷。綠光是應(yīng)用*廣的一種，可以有效切斷金屬和去除氧化層。器件上往往有多種材質(zhì)故而需要多波段的切換來實(shí)現(xiàn)不同的操作。
規(guī)格
HOYA激光修復(fù)系統(tǒng)
特點(diǎn)
能同時實(shí)現(xiàn)微細(xì)加工與高輸出能量的大面積加工
從*小0.5微米到*大300微米，對半導(dǎo)體機(jī)FPD金屬薄膜的微細(xì)加工到Color Filter的大面積加工都可以應(yīng)對，另外*大往返周波數(shù)可到50Hz，也可用在各種應(yīng)用層面上
采用高剛性材料制作外殼，鐳射頭抗震性強(qiáng)，耐高溫
高精度的可變換輸出功率鐳射系統(tǒng)
多功能控制臺可結(jié)合操作人員所有功能需求，可記憶四組常用 |
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