自1970年Aerotech開始研制*高性能的運動控制產(chǎn)品和精密定位系統(tǒng)，這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于世界范圍內(nèi)的工業(yè)制造、政府及自然科學(xué)研究等行業(yè)。Aerotech能夠為生命科學(xué)及醫(yī)學(xué)設(shè)備，半導(dǎo)體加工，光子學(xué)，數(shù)據(jù)存儲，激光應(yīng)用，航空和國防，電子產(chǎn)品制造、測試及裝配等行業(yè)的研究和發(fā)展，以及其他需要高精度、高自動化水平的解決方案提供滿足市場應(yīng)用苛刻要求的高性能精密運動控制產(chǎn)品。
Aerotech承諾始終如一的提高我們的產(chǎn)品性能和服務(wù)能力的附加價值，我們的座右銘是：Dedicated to the Science of Motion。
ABL1000氣浮平臺
1專為高性能校準(zhǔn)和裝配應(yīng)用設(shè)計
2分辨率達2nm的直線編碼器反饋
3閉環(huán)分辨率可達1nm(使用A3200控制器)
4全預(yù)加負載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
5低噪音線性放大器
6全部非接觸設(shè)計
行程≤150mm
精度±0.20um
重復(fù)定位精度±0.05um
直線度±0.25um
平面度±0.25um
ABL1500直線電機平臺
1專為高性能掃描和檢測應(yīng)用設(shè)計
2分辨率達到nm以下的直線編碼器反饋
3全預(yù)加負載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
4大負載高剛性幾何特性極好
行程≤500mm
精度±0.20um
重復(fù)定位精度±0.10um
直線度±0.25um
平面度±0.25um
ABL2000氣浮平臺
1專為晶片成像/缺陷探測/涂覆應(yīng)用設(shè)計
2運動超平滑,速度穩(wěn)定性突出
3直線編碼器或激光干涉儀反饋 |
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