FF型復(fù)合分子泵
安捷倫渦輪分子泵
TY系列復(fù)合分子泵
性能優(yōu)異：整體型復(fù)合轉(zhuǎn)子，強(qiáng)度高、性能穩(wěn)定，潔凈無油；可靠性高：成熟的軸系結(jié)構(gòu)和優(yōu)化的減震方案；潔凈無油：采用脂潤滑精密陶瓷軸承，無油蒸汽污染；任意角度：可任意角度安裝，便于系統(tǒng)集成；易于集成：體積小、重量輕、任意角度安裝；使用方便：配件齊全，可提供靈活的客戶定制方案；水、電、氣等接口連接簡單方便，客戶可以根據(jù)環(huán)境和使用條件自主選擇風(fēng)冷或水冷；應(yīng)用廣泛：適用質(zhì)譜分析、表面科學(xué)、激光、薄膜沉積、鍍膜、離子刻蝕、核物理研究實驗室科研等領(lǐng)域
安捷倫渦輪分子泵經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計，可以在低壓強(qiáng)內(nèi)實現(xiàn)高壓縮比，在大抽氣量和高前級壓強(qiáng)是實現(xiàn)*大的壓差。該泵為無油、無污染型，并且具有非常低的故障率，可以在任何角度工作而不對材料施加應(yīng)力。典型的 MTTF 超過 250000 小時。渦輪分子泵的應(yīng)用范圍包括高能物理和研究、納米技術(shù)、質(zhì)譜技術(shù)、工業(yè)真空加工和半導(dǎo)體，并可用作掃描電子顯微鏡 (SEM) 的專用泵。
功耗更低、性能更佳；通過減少發(fā)熱而節(jié)能，并提高可靠性為風(fēng)冷而優(yōu)化的冷卻翅片；通過降低工作溫度進(jìn)一步提高可靠性；具有優(yōu)化的幾何尺寸；功率要求低，前級耐壓高及可承受高氣載；可拆卸的前級連接器；可連接各種前級泵；冷卻方式靈活（風(fēng)冷或水冷）。
TY系列復(fù)合分子泵有渦輪分子泵和盤式牽引泵組合而成，它同時具有渦輪分子泵分子流時抽速大、壓縮比高，牽引泵高壓強(qiáng)時抽速大、壓縮比高的特點，擴(kuò)展了分子泵的應(yīng)用范圍。
復(fù)合分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶性效因，由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。其廣泛應(yīng)用于光伏、照明、宇航、半導(dǎo)體、能源、軍工、激光、家電、材料、汽車等真空技術(shù)的各個領(lǐng)域。 |
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