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深圳市旺達(dá)康科技有限公司
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先生 (業(yè)務(wù)) |
| 電 話：0755-82382356 |
手 機(jī)：15919406738  |
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| 國內(nèi)廠家銷售半導(dǎo)體行業(yè)用高純電子級(jí)硼酸三甲酯TM |
電子級(jí)硼酸三甲酯TMB
一、分子式: B(OCH3)3
二、分子量:103.92
三、理化性質(zhì)
無色液體，無明顯氣味，性質(zhì)穩(wěn)定。熔點(diǎn)-29℃，密度0.915g/ml，沸點(diǎn)67～68℃。易燃，
與氧化劑能發(fā)生強(qiáng)烈反應(yīng)。水解生成甲醇和硼酸，能與有機(jī)溶劑混溶。
四、用途
主要用于晶圓制造過程中化學(xué)氣相沉積（CVD）生成硼磷硅酸玻璃（BPSG）。是半導(dǎo)體、
分立器件、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）制造所需的重要電子化學(xué)品。 |
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