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深圳市旺達(dá)康科技有限公司
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先生 (業(yè)務(wù)) |
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手 機(jī)：15919406738  |
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| 國(guó)內(nèi)廠家銷售半導(dǎo)體行業(yè)用電子級(jí)六甲基二硅氮烷HMDS |
電子級(jí)六甲基二硅氮烷HMDS
別名：六甲基二硅氮烷;六甲基二硅烷胺;六甲基二硅亞胺六甲基二硅氮烷
無色透明液體。易水解，放出NH3，生成六甲基二硅醚。在催化劑存在下，與醇或酚反應(yīng)，生成三甲基烷氧基硅烷或三甲基芳氧基硅烷。與無水氯化氫反應(yīng)，放出NH3或NH4Cl，生成三甲基氯硅烷�？捎扇谆裙柰榕cNH3反應(yīng)來制取。
中文名：六甲基二硅氮烷
英文名：Hexamethyldisilazane
分子式：C6H19NSi2
分子量：161.39
CAS號(hào)：999-97-3
EINECS號(hào)：213-668-5
用途：
主要用于晶圓制造過程中光致刻蝕劑的粘結(jié)助劑。 |
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