Aerotech ABL2000氣浮平臺
1專為晶片成像/缺陷探測/涂覆應用設計
2運動超平滑,速度穩(wěn)定性突出
3直線編碼器或激光干涉儀反饋
4行程達1.2米
5全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
6全部非接觸設計
行程≤1200mm
精度±0.50um
重復定位精度±0.20um
直線度±0.25um
平面度±0.25um
ABL20010 ABL20020 ABL20030 ABL20040 ABL20050 ABL20075 ABL20100 ABL20120
全預緊式空氣軸承
超平滑運動設計獲得顯著的速度穩(wěn)定性
行程達1.2米
直線編碼器反饋或激光干涉儀反饋
標準產(chǎn)品性能:
行程 ≤1200 mm
定位精度 ±0.50 μm
重復定位精度 ±.20 μm
直線度 ±0.25 μm
平面度 ±0.25 μm
z圖片/Product_439.jpg ABL2000 平臺性能指標
◆ 全預裝空氣軸承
◆ 行程1.2米
◆ 線性編碼器或激光干涉儀反饋
◆ 完整的非接觸式設計
◆ 超平滑設計,速度
穩(wěn)定性*佳 |