ABRT超精密轉(zhuǎn)臺
1專為硅片檢測,X射線衍射系統(tǒng),光學(xué)檢測及制造和納米技術(shù)設(shè)備制造應(yīng)用設(shè)計
2無刷無槽伺服電機(jī)直接驅(qū)動
3突出的速度穩(wěn)定性,波動率低于萬分之一(電機(jī)無接頭效應(yīng))
4卓越的運(yùn)動性能,誤差小,無抖動
5直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器
6扁平結(jié)構(gòu)設(shè)計
7無機(jī)械接觸
臺面直徑100-200mm
分辨率0.027-0.055arcsec
雙向重復(fù)定位精度<1arcsec
定位精度<2 arc sec
異步軸跳<20nm
更多產(chǎn)品資料請聯(lián)系我們:卜振磊 18612885992
異步徑跳<20nm
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